光切法是指應(yīng)用“光切原理”來(lái)測(cè)量表面粗糙度的一種方法

更新時(shí)間：2023-02-03

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　　光切法是指應(yīng)用“光切原理”來(lái)測(cè)量表面粗糙度的一種方法。

　　根據(jù)光切原理制成的光學(xué)量?jī)x稱為光切顯微鏡，又稱雙管顯微鏡。這種儀器的工作原理如圖10-61所示。由光源1發(fā)出的光線通過(guò)聚光鏡2照到狹縫3上，形成一條扁平的光帶通過(guò)物鏡4以45"的傾角照射到被測(cè)表面上。由于被測(cè)表面存在微觀不平的峰谷，因此，在與表面成45°傾角的觀測(cè)管（物鏡5、目鏡6和分劃板組成）中可以看到從被測(cè)表面反射所形成的彎曲亮帶。光帶在表面峰頂a點(diǎn)和谷底b點(diǎn)反射，經(jīng)放大后兩點(diǎn)各自成像于a'點(diǎn)和b'點(diǎn)處。若a'、b'兩點(diǎn)之間的距離為N，觀測(cè)管的放大倍數(shù)為V，則被測(cè)表面在該處的微觀不平度高度h的數(shù)值為：h=（N/v）cos45'=√2N/2v。

　　在儀器上測(cè)量表面粗糙度時(shí)，應(yīng)先將被測(cè)零件揩拭干凈后放置在工作臺(tái)7上，被測(cè)表面的加工紋理方向應(yīng)調(diào)到與狹縫相互垂直。然后進(jìn)行粗、微調(diào)焦，當(dāng)在目鏡的視場(chǎng)中看到最清晰的輪廓亮帶時(shí)，調(diào)焦才算完畢，即可進(jìn)行測(cè)量。

　　光切顯微鏡用來(lái)測(cè)量表面粗糙度的R，或R，參數(shù)。測(cè)量時(shí)，表面微觀不平度的高度是用測(cè)微目鏡上的百分尺和目鏡中的十字線進(jìn)行的，如圖10-63所示。測(cè)最參數(shù)R.時(shí)，在規(guī)定的取樣長(zhǎng)度內(nèi)，調(diào)整十字線與亮帶平行，旋轉(zhuǎn)百分尺使十字線與亮帶較清晰一側(cè)的某一最大輪廓峰頂相切（見(jiàn)圖10-630），此時(shí)從百分尺上讀得一個(gè)數(shù)值，然后又使十字線與亮帶同一側(cè)的某一最深谷底相切（見(jiàn)圖10-636），從百分尺上讀得另一個(gè)數(shù)值。百分尺上兩個(gè)讀數(shù)之差來(lái)以目鏡百分尺的分度值，即為測(cè)得的輪廓最大高度（R，）值。應(yīng)當(dāng)注意，目鏡百分尺的分度值是與所用物鏡的收大倍數(shù)有關(guān)，并預(yù)先用標(biāo)準(zhǔn)刻度尺來(lái)確定。

　　參數(shù)Ra的測(cè)成與上述方法相同，在規(guī)定的取樣長(zhǎng)度內(nèi)，先決定基準(zhǔn)線，按上述步驟分別測(cè)出5個(gè)輪廓峰頂讀數(shù)和5個(gè)輪廓谷底讀數(shù)，并根據(jù)微觀不平度十點(diǎn)高度（R.）的定義計(jì)算式算出數(shù)值，此計(jì)算值與目鏡百分尺分度值的乘積，即是所求的Ra值。

　　光切顯微鏡能夠測(cè)量R.12.5~0.2的表面袒德度，參數(shù)值的測(cè)量范圍為0.8~80歲米。該儀器除對(duì)金屬表面進(jìn)行測(cè)量外，也可用來(lái)觀洲紙張、塑料、油漆、電鍍層及其它表面的微觀不平度。在用印模法檢測(cè)表面祖糙度時(shí)，可用光切顯微鏡測(cè)量印模的表面粗糙莊。

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